TESCOM 12 系列无弹簧无螺纹调压器

TESCOM 12 系列无弹簧无螺纹调压器
12 系列是一种微型超高纯度工业气体 （IGS）/VCR174; 减压型调压器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。

规格

额定压力

大进口压力：
150 psig / 10.3 bar

大出口压力：
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar

材质

阀体：316L VAR 不锈钢
阀膜：Hastelloy®
阀座：PCTFE
阀杆：Hastelloy®
其他部件材质：316L VAR 不锈钢

工作温度

-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C

连接件

焊接：1/4" VCR® 或管接头
表面安装：1.125" 或 1.50" 占用空间

流通能力

标准：Cv = 0.04 
高流量：Cv = 0.08

重量

VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg 
A 型：1.08 lb / 0.5 kg

功能

• 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
• 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 （MFC） 性能
• 适用范围广，性能*
• 流量：2 SCFM 至 120 SLPM
• 在微型元件中提供的压降和重复性
• 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供较好的密封性
• 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
• 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
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